Нашият експертен екип може да ви разкаже повече за потенциала за оптимизация на нашите газове, оборудване и услуги
Литография Газове за електрониката
Доверен партньор за литографски газове, използвани в повечето полупроводникови продукти
Големите световни производители на лазери, стъпкови и скенери, както и много от най-големите производители на полупроводници в света, разчитат на най-високото качество на нашите лазерни газове и смеси
Доказан опит
В продължение на повече от двадесет години ексимерната лазерна индустрия разчита на нашите литографски газове. Те са използвани при разработването на най-ранните лазери за литография и сега са най-широко използваните ексимерни газове за DUV фотолитография в полупроводниковата индустрия.
Лазерите в хиляди световни степери и скенери използват нашите най-съвременни литографски газове и газови смеси.
Нашите клиенти включват големи световни производители на лазери, степери и скенери, както и много от най-големите производители на полупроводници в света. Те знаят, че могат да разчитат на най-висококачествените лазерни газове, съчетани с нашите задълбочени познания за критичните газови технологии.
Нашите клиенти също се възползват от развитието на нови технологии и иновации, задвижвани от нашите центрове за върхови постижения. Ключовите области на експертиза включват:
- Пълен спектър - Ние сме водещи на пазара за производство и пречистване на всички суровини, необходими за фотолитографията
- Експертиза на цилиндрите - Ние имаме специализиран опит, базиран на нашите собствени технологии за работа и обработка на бутилки, съдържащи както инертни, така и халогенни (F2) газове
- Възможности за смесване - Ние сме пионери във високо специфични технологии за смесване, за да създадем многокомпонентни смеси, които са напълно хомогенни
- Аналитични технологии - Ние сме разработили собствени аналитични технологии, които надминават индустриалните норми. Всички бутилки за литография SPECTRA® са снабдени със сертификат за анализ
Редки газови и халогенни газови смеси за ексимерни лазери
Ние осигуряваме газовите смеси, необходими за целия спектър от ексимерни лазери, използвани в производството на електроника.
- XeCl при 308 nm
- KrF при 248 nm
- ArF при 193 nm
Ние също така поддържаме много от ексимерните лазери, използвани в разработки и не-електронни приложения.
Въглероден диоксид с ултрависока чистота за потапяща литография
Потапящата литография значително разшири възможността за свиване на функцията с 193 nm DUV степери. Нашият CO2 с ултрависока чистота (UHP) позволява този процес, като измества част от азота и други газове в потапящия воден слой, което може да доведе до мехурчета, причиняващи дефекти. Нашият UHP CO2 се предлага в насипно състояние в повечето географски райони с опционално пречистване на място.
Насипни водородни решения за екстремна ултравиолетова литография
Екстремната ултравиолетова (EUV) литография е технологията от следващо поколение, която усъвършенства днешните водещи полупроводникови дизайни. Големи количества водород са необходими за непрекъснато почистване на търговските източници на светлина, които използват течен калай като лазерна среда. Ние предлагаме пълно портфолио от насипни и на място H2 решения, за да отговорим на нарастващото търсене в тази област.
